GB/T 23611-2009 金靶材
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基本信息
| 标准名称： | 金靶材 |
| 英文名称： | Gold target |
| 中标分类： | 冶金 >> 有色金属及其合金产品 >> 贵金属及其合金 |
| ICS分类： | 冶金 >> 有色金属 >> 其他有色金属及其合金 |
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： | 2009-04-15 |
| 实施日期： | 2010-02-01 |
| 首发日期： | 2009-04-15 |
| 作废日期： | |
| 主管部门： | 中国有色金属工业协会 |
| 提出单位： | 中国有色金属工业协会 |
| 归口单位： | 全国有色金属标准化技术委员会 |
| 起草单位： | 有研亿金新材料股份有限公司等 |
| 起草人： | 闫琳、江轩、吕保国、熊晓东、尚再艳、杨永刚、杨顺兴、杜连民 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2010-02-01 |
| 页数： | 8页 |
| 计划单号： | 20079082-T-610 |
适用范围
本标准规定了金靶材要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及订货单（或合同）内容。
本标准适用于制造半导体电子器件用的各类金溅射靶材。
前言
没有内容
目录
没有内容
引用标准
ＧＢ／Ｔ４１３４ 金锭
ＧＢ／Ｔ１１０６６．５ 金化学分析方法 银、铜、铁、铅、锑和铋量的测定 原子发射光谱法
ＧＢ／Ｔ１５０７７ 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
所属分类： 冶金 有色金属及其合金产品 贵金属及其合金 冶金 有色金属 其他有色金属及其合金
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